III Всесоюзный симпозиум по вычислительной голографии

Тезисы докладов

Сканирующий модуль микротомографа

Ю.Н.Выговский, В.В.Календин, В.И.Лелеков, Р.И.Мухтаров

Всесоюзный научно-исследовательский центр по изучению свойств вакуума, Москва

Современное развитие вычислительной томографии, связанное с ее применением для решения ряда актуальных задач контроля качества компонент промышленных изделий и разработки профессиональных технологий, требует создания микротомографов с пространственным разрешением (1-10 мкм). Для достижения заданного разрешения разработана сканирующая электромеханическая система (ЭМС) – модуль микротомографа, обеспечивающая прецизионное программируемое позиционирование и измерение параметров движения объекта исследования (ОИ) с управлением от СМ ЭВМ.

В сообщении изложены принципы построения автоматизированного сканирующего модуля микротомографа, включающего в себя узлы размещения и юстировки рентгеновского излучателя (РИ), блока детекторов (БД) и ОИ, унифицированные оптико-механические узлы, обеспечивающие автоматическую трансляцию ОИ по трем координатам X, Y, Z, механизм поворота ОИ вокруг оси Z, лазерные измерители перемещений (ЛИП) и датчика угла поворота ООИ (ДУП). Каждый оптико-механический узел состоит из подвижной платформы, шагового двигателя с редукцией (ШДР), микрометровой подачи и ЛИП, обеспечивающих автоматическую трансляцию и измерение перемещений ОИ в диапазоне ± 20 мм X, ± 5 мм Y и ± 50 мм Z с разрешением ± 5 мкм и абсолютной погрешностью 0,1 мкм. Механизм поворота ОИ состоит из ШДР, привода вращения платформы и ДУП, обеспечивающих задание и измерение угла в пределах ± 180° с погрешностью 30”. Управление позиционированием ОИ и передача измерительной информации в ЭВМ осуществляются посредством программно-управляемых модулей в стандарте “КАМАК”.

Разработанная ЭМС может быть использована в микротомографах с различными видами зондирующего излучения, в панорамных анализаторах пространственных распределений полей, структур, состава и т.д., а также устройствах прецизионной обработки материалов методами фотонокорпускулярной технологии.